OZONOTEC EC

OZONOTEC EC ist ein elektrochemischer Clark-Zellen-Sensor zur kontinuierlichen Messung von gelöstem und gasförmigem Ozon (O₃). Er ist für Spurenmessungen in anspruchsvollen Prozessmedien ausgelegt und eignet sich besonders für Halbleiter-/Ultrapure-Water-, Power-&-Steam- sowie Pharma- und Chemieanwendungen.
Anwendungen
Halbleiterindustrie / Ultrapure Water
Power & Steam
Pharma & Chemie
Inline- und At-line-Messungen
Messprinzip
Ozon diffundiert durch eine semipermeable Membran zur Goldkathode und wird dort elektrochemisch reduziert. Der erzeugte Strom ist proportional zum O₃-Partialdruck. Ein Guard-Ring minimiert Einflüsse durch bereits im Elektrolyten gelöstes Ozon.
Technische Daten
Gelöstes O₃: 1 ppb–50 ppm
O₃-Partialdruck: 1 Pa–10 kPa
Ansprechzeit (90 % @25 °C): 30 s
Genauigkeit: ±1 % vom Messwert*
Temperaturkompensation: −5 bis +60 °C
Flüssigkeitsdurchfluss: 350 ml/min
Linearer Durchfluss: 30 cm/s
Gasdurchfluss: 0,01–3 l/min
Druckfestigkeit: 50 bar
Werkstoffe: 316L Edelstahl, PFA
Schutzart: IP68 / NEMA 6P
Gewicht: 0,6 kg
Sensorkabel: 3–100 m
Erweiterung
Optional mit OZONOTEC ANALYZER als Auswerteeinheit für Anzeige, Alarmfunktionen und Signalintegration.
* 1 % des Messwertes oder kleinster Wert, je nachdem welcher Wert größer ist.